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        環控產品

        專注于環境監測服務,致力于環保事業發展

        APK6100E半導體行業超高純(特種)氣體稀釋系統

        產品優勢

        ■可配置液體或氣體樣品;

        ■可實現標樣加濕功能;

        ■兩級高精度MFC控制;

        ■稀釋比高;

        ■全自動運行,直接讀取濃度,ppm,ppb或ppt;

        ■可針對不同用戶的稀釋要求定制產品。

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        原理概述

            APK6100E半導體行業超高純(特種)氣體稀釋系統,是一款具有高精度高稀釋比的升級產品,可配制五種標氣的混合氣(可定制),稀釋比可達到1:10000,二級稀釋,高精度,帶有加濕功能,可用于傳感器生產商,半導體生產商的產品測試及科研院所的科學研究??筛鶕脩粢蠖ㄖ?。

            特點:

            苯系物BTEX,PAMS,硫化物,TO-15,HCHO,SO2,N2O,NO2以及其他;

            帶有加濕功能,可控制稀釋后氣體濕度

            高精度質量流量計(MFC),配制氣體濃度精準

            可選配液體標樣稀釋模塊

            應用:

            傳感器生產商

            半導體生產商

            科研院所

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